Probe是探针台。
基本介绍
- 中文名探针台
- 外文名prober
- 分类手动，半自动，全自动
- 用途半导体行业以及光电行业
Prober 也即探针台
探针台主要套用于半导体行业以及光电行业的测试。
探针台从操作上来区分有手动，半自动，全自动
从功能上来区分有高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台，
以上所有种类之分析探针台
经济手动型
chuck尺寸100mm
X,Y移动行程100mm
chuck Z轴方向升降10mm（选项）
搭配AEC实体显微镜
针座摆放个数2～4颗
适用领域4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等
手动型 PW-800 / PW-600
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6～8颗
显微镜X-Y-Z移动範围2"x2"x2"
可搭配Probe card测试
适用领域8寸/6寸Wafer、IC测试之产品
电动型
chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不鏽钢或镀金）
X,Y电动移动行程300mm x 300mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8～12颗
显微镜X-Y-Z移动範围2“x2”x2“
材质花岗岩台面+不鏽钢
可搭配Probe card测试
适用领域12寸Wafer、IC测试之产品
LCD半自动探针台
机械手臂取放片
电动、键入坐标寻位置
量测尺寸（mm）1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手动探针台
白炽灯或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量测分析
机台尺寸（mm）800x600、500x400、300x300
PCB量测探针台
高频测试探头GSG / GS / SG
频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
机台尺寸同LCD 探针台
太阳能产业探针台（Solar Cell 量测系统）
量测软体:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
採用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太阳光模拟器